Hochvergrößerndes, großformatiges telezentrisches Objektiv für die Halbleiterindustrie
Durch kontinuierliche Weiterentwicklung und Verbesserung wurde die Messgenauigkeit auf Mikrometer-Niveau gebracht.
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Spezifikation
| Modell | Koaxial | Mag (X) | WD (mm) | Bild-FOV (mm) | Telezentrizität (°) | DOF (mm) | Blende | Auflösung (μm) | Bild MTF30 (LP/mm) | Verzerrung (%) | Montieren | Gewicht (kg) | O/I (mm) |
| XF-MDT1X135-D38-VI-M58-11.48 | NEIN | 1 | 135 | 38 | 0,150 | 0,74-10,0 | F6.6-91.6 | 4.3-60.4 | 155-9.6 | 0,020 % | M58 | 1.6 | 395 |
| XF-MDT1X135DZM-D38-VI-M58-11.48 | Ja | 1 | 135 | 38 | 0,150 | 0,74-10,0 | F6.6-91.6 | 4.3-60.4 | 155-9.6 | 0,020 % | M58 | 1.9 | 395 |
| XF-MDT1.5X110-D38-VI-M58-11.48 | NEIN | 1,5 | 110 | 38 | 0,150 | 0,33-5,6 | F6.7-112.2 | 2,9-49,3 | 150-9.4 | 0,021 % | M58 | 1.4 | 370 |
| XF-MDT1.5X110DZMC-D38-VI-M58-11.48 | Ja | 1,5 | 110 | 38 | 0,150 | 0,33-5,6 | F6.7-112.2 | 2,9-49,3 | 150-9.4 | 0,021 % | M58 | 1.6 | 370 |
| XF-MDT2X110-D41-VI-M58-11.48 | NEIN | 2 | 110 | 41 | 0,160 | 0,28-5,1 | F10.0-F179.5 | 3.3-59.2 | 100-5.8 | 0,050 % | M58 | 1,5 | 392 |
| XF-MDT2X110DZM-D41-VI-M58-11.48 | Ja | 2 | 110 | 41 | 0,160 | 0,28-5,1 | F10.0-F179.5 | 3.3-59.2 | 100-5.8 | 0,050 % | M58 | 1.6 | 392 |
| XF-MDT3X110-D41-VI-M58-11.48 | NEIN | 3 | 110 | 41 | 0,153 | 0,15-3,1 | F12.4-F248.1 | 2,8-54,6 | 80-4.2 | 0,059 % | M58 | 1.6 | 416 |
| XF-MDT3X110DZM-D41-VI-M58-11.48 | Ja | 3 | 110 | 41 | 0,153 | 0,15-3,1 | F12.4-F248.1 | 2,8-54,6 | 80-4.2 | 0,059 % | M58 | 1.7 | 416 |
| XF-MDT4X110-D41-VI-M58-11.48 | NEIN | 4 | 110 | 41 | 0,116 | 0,11-2,3 | F16.5-F330.8 | 2,8-54,6 | 60-3.1 | 0,052 % | M58 | 1,5 | 450 |
| XF-MDT4X110DZM-D41-VI-M58-11.48 | Ja | 4 | 110 | 41 | 0,116 | 0,11-2,3 | F16.5-F330.8 | 2,8-54,6 | 60-3.1 | 0,052 % | M58 | 1.7 | 450 |
| XF-10MDT2X65-1C-VI | NEIN | 2 | 65 | 17.6 | 0,205 | 0,20-2,8 | F7.1-98.9 | 2,4-32,6 | 135-10.5 | 0,100 % | C | 0,5 | 233 |
| XF-10MDT2X65D-1C-VI | Ja | 2 | 65 | 17.6 | 0,205 | 0,20-2,8 | F7.1-98.9 | 2,4-32,6 | 135-10.5 | 0,100 % | C | 0,5 | 233 |
| XF-10MDT2X65DZM-1C-VI | Ja | 2 | 65 | 17.6 | 0,205 | 0,20-2,8 | F7.1-98.9 | 2,4-32,6 | 135-10.5 | 0,100 % | C | 0,6 | 233 |
| XF-10MDT3X65-1C-VI | NEIN | 3 | 65 | 17.6 | 0,212 | 0,12-1,8 | F9.5-147.3 | 2.1-32.3 | 105-7 | 0,085 % | C | 0,5 | 241 |
| XF-10MDT3X65D-1C-VI | Ja | 3 | 65 | 17.6 | 0,212 | 0,12-1,8 | F9.5-147.3 | 2.1-32.3 | 105-7 | 0,085 % | C | 0,5 | 241 |
| XF-10MDT3X65DZM-1C-VI | Ja | 3 | 65 | 17.6 | 0,212 | 0,12-1,8 | F9.5-147.3 | 2.1-32.3 | 105-7 | 0,085 % | C | 0,6 | 241 |
| XF-10MDT4X65-1C-VI | NEIN | 4 | 65 | 17.6 | 0,161 | 0,08-1,4 | F11.8-194.9 | 2,0-32,3 | 85-5 | 0,090 % | C | 0,5 | 257 |
| XF-10MDT4X65D-1C-VI | Ja | 4 | 65 | 17.6 | 0,161 | 0,08-1,4 | F11.8-194.9 | 2,0-32,3 | 85-5 | 0,090 % | C | 0,6 | 257 |
| XF-10MDT4X65DZM-1C-VI | Ja | 4 | 65 | 17.6 | 0,161 | 0,08-1,4 | F11.8-194.9 | 2,0-32,3 | 85-5 | 0,090 % | C | 0,6 | 257 |
| XF-10MDT2X110-1.1C-VI | NEIN | 2 | 110 | 17.6 | 0,100 | 0,25-3,6 | F9-F126.8 | 3,0-41,8 | 110-8.2 | 0,047 % | C | 0,6 | 302 |
| XF-10MDT2X110DZM-1.1C-VI | Ja | 2 | 110 | 17.6 | 0,100 | 0,25-3,6 | F9-F126.8 | 3,0-41,8 | 110-8.2 | 0,047 % | C | 0,7 | 302 |
| XF-10MDT3X110-1.1C-VI | NEIN | 3 | 110 | 17.6 | 0,070 | 0,14-2,4 | F12.4-F190.0 | 2,8-41,8 | 80-4.6 | 0,048 % | C | 0,7 | 328 |
| XF-10MDT3X110DZM-1.1C-VI | Ja | 3 | 110 | 17.6 | 0,070 | 0,14-2,4 | F12.4-F190.0 | 2,8-41,8 | 80-4.6 | 0,048 % | C | 0,7 | 328 |
| XF-10MDT4X110-1.1C-VI | NEIN | 4 | 110 | 17.6 | 0,050 | 0,10-1,8 | F15.2-F253.4 | 2,5-41,8 | 65-4.1 | 0,046 % | C | 0,7 | 348 |
| XF-10MDT4X110DZM-1.1C-VI | Ja | 4 | 110 | 17.6 | 0,050 | 0,10-1,8 | F15.2-F253.4 | 2,5-41,8 | 65-4.1 | 0,046 % | C | 0,8 | 348 |
Anmerkungen:
Um eine gleichmäßige Ausleuchtung und optimale Leistung der Koaxialscheinwerfer zu gewährleisten, muss der Scheinwerfer folgende Anforderungen erfüllen:
1. Gleichmäßige und effiziente Ausleuchtung der Fläche ≥φ6mm
2. Gleichmäßiger und effizienter Beleuchtungswinkel ≥±13° (NA ist etwa 0,22)
